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关于晶圆测试探针台组成介绍

发布日期:2020-07-20      浏览次数:154
 
  
  探针台主要应用于半导体行业、光电行业、集成电路以及封装的测试。广泛应用于复杂、高速器件的精密电气测量的研发,旨在确保质量及可靠性,并缩减研发时间和器件制造工艺的成本。
  
  晶圆测试探针台是专门用于晶圆片在磁场作用下的表征和测试的仪器,它使用磁场发生器和先进的可定制硬件,通过高精度定位平台、高刚性晶圆承载台和高分辨率探针相机及俯视相晶圆相机,实现全自动上下晶圆、对针和高精度测试。为磁性器件(传感器和存储器)的开发、工艺和生产带来了完整的测试解决方案。
  
  晶圆测试探针台组成介绍:
  
  探针台的主要功能组件说明:探针台本体、显微镜、探针座、探针夹具及探针、线缆、屏蔽箱、防震桌、真空泵、视频成像装置
  
  1.根据所需测试的样品尺寸以及电信号测试,选择不同的探针台本体。
  
  2.显微镜的选择,主要根据所量测样品的分辨率要求选型,可选体式显微镜、高倍金相显微镜、激光功能显微镜,单筒显微镜等。
  
  3.探针座根据移动精度及固定方式选择,固定方式分为磁吸附,真空吸附,机械式固定以及固定式磁吸附基底。
  
  4.探针夹及探针具根据测试样品的信号类型选择,可分为:直流、高频、微波、射频、微波,微电流、高压、高电流等。
  
  5.线缆部分配合探针夹具类型选择。
  
  6.屏蔽箱用于屏蔽光及电磁信号,提高量测精度。
  
  7.防震桌减少振动,特别是在高倍率情况下的高频量测使用效果较为明显。
  
  8.真空泵辅助真空卡盘及真空吸附探针座使用。
  
  9.视频成像装置。

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