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产品名称:

科研型晶圆测试探针台

更新时间:2020-01-02

产品型号:LS-WPS150-SC

产品特点:稳定的结构,针座平台可快速升降和微调,适合针卡测试 ;大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计;兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 ;芯片内部线路/电极/PAD测试;VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试;高等院校/研究所/工业用户实验室使用 。

详细资料:

产品特性

1. 稳定的结构,针座平台可快速升降和微调,适合针卡测试 

2. 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计

3. 兼容高倍率金相显微镜,可微调移动       

4. 芯片内部线路/电极/PAD测试

5. VCSEL/LD/LED/PD的光谱波长/光功率测试

6. 高等院校/研究所/工业用户实验室使用       

7. 最大可用于12英寸以内样品测试          

8. VCSEL/LD/LED/PDLIV/CV特性测试

9.密丝杆传动结构,线性移动

 

主要技术指标 

 

型号

LS-WPS150-SC

LS-WPS200-SC

LS-WPS300-SC

外形

820mm*

720mm*

890mm

960mm*

850mm*

900mm

1300mm*

920mm*

920mm

重量

170公斤

230公斤

300公斤

电力需求

220VC, 50~60Hz

样品台

尺寸

6英寸,可360度旋转

8英寸,可360度旋转

12英寸,可360度旋转

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移动精度

1um

样品固定方式

真空吸附

背电极测试功能

有,样品台电学独立悬空

针座平台

规格

U型平台,最多可以放置8个针座

U型平台,最多可以放置10个针座

U型平台,最多可以放置12个针座

行程&调节方式

平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um

光学特性

 

显微镜行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm

显微镜移动精度

1um

切换镜头方式

显微镜快速倾仰30度

放大倍数

20~4000X

镜头规格

目镜:10X;  物镜:5X,  10X,  20X,  50X,  100X (选配)

CCD像素

50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏电精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱时)

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口

应用方向

晶圆测试,光电器件测试,PCB/封装器件测试,射频测试,高压/大电流测试等

 

 

 

 

 

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