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产品名称:高低温分析晶圆测试探针台

发布时间:2020-01-02

产品型号:LS-WPS200-TEC

产品特点:非真空环境下的低温测试,可达-100℃ ;大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计;兼容高倍率金相显微镜,可微调移动 ;0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试;.高等院校/研究所/公司实验室使用 。

详细资料:

产品特性

 

1. 非真空环境下的低温测试,可达-100℃     

2. 大手柄驱动,操作舒适,无回程差设计

3. 兼容高倍率金相显微镜,可微调移动      

4. 0.2微米以上芯片内部线路/电极/PAD测试

5. 高等院校/研究所/公司实验室使用         

6. VCSEL/LD/LED/PD的光功率/光谱测试

7. 最大可用于12英寸以内样品测试                       

8. VCSEL/LD/LED/PD的IV/CV特性测试

9. 精密丝杆传动结构,线性移动          

10. 器件的高频特性测试(可至300GHz频率)

 

主要技术指标

 

 

型号

LS-WPS150-TEC

LS-WPS200-TEC

LS-WPS300-TEC

外形

860mm*

850mm*

700mm

880mm*

860mm*

750mm

1400mm*

920mm*

920mm

重量

150公斤

170公斤

250公斤

电力需求

220VC, 50~60Hz

样品台

尺寸

6英寸,可360度旋转

8英寸,可360度旋转

12英寸,可360度旋转

行程

X-Y行程6*6英寸

X-Y行程8*8英寸

X-Y行程12*12英寸

移动精度

1um

切换样品功能

样品台快速拉出

样品固定方式

真空吸附

电学运用

电学独立悬空,可作为背电极使用

针座平台

规格

O型平台,最多可以放置8个针座

O型平台,最多可以放置10个针座

O型平台,最多可以放置12个针座

行程&调节方式

平台可以快速升降,行程6mm,并带自动锁定功能;可以上下微调,行程25mm,升降精度1um

温控特性

温度范围

-100~200℃

-80~200℃

-60~200℃

温控精度

温度分辨率:0.01℃

加热电源

LVDC低压直流

最低控温速率

±0.1℃/小时

制冷方式

液氮制冷

光学特性

显微镜行程

X-Y轴行程2英寸*2英寸,Z轴:50.8mm

切换镜头方式

显微镜气动升降

放大倍数

16~100X/20~4000X

镜头规格

目镜:10X;  物镜:5X,  10X,  20X,  50X,  100X (选配)

CCD像素

50W(模拟)/200W(数字)/500W(数字)

点针规格

X-Y-Z行程

12mm-12mm-12mm/8mm-8mm-8mm

机械精度

10微米/2微米/0.7微米/0.1微米

漏电精度

10pA/100fA(配置屏蔽箱时)

接口形式

香蕉头/鳄鱼夹/同轴/叁轴/SMA/K接口

应用方向

高低温环境下,LD/LED/PD测试,PCB/封装器测试,射频测试等

 

 

 

 

 

 

 

 

 

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