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产品名称:在线晶圆测量机

发布时间:2020-01-06

产品型号:VCSEL-LIV-NF-FF

产品特点:VCSEL-LIV-NF-FF自动化在线晶圆测量系统由莱森光学专门针对基于6寸 VCSEL晶圆得LIV光谱测试/NF近场测试/FF远场测试研发而成,特别适合晶圆线上自动化测量。

详细资料:

  VCSEL(Vertical Cavity Surface Emitting Laser,垂直共振腔表面放射激光)技术目前在在人脸识别、3D感测、汽车自驾驶、手势侦测和VR(虚拟现实)/AR(增强现实)/MR(混合现实等应用领域越来越受到关注,莱森光学®可以为客户提供VCSELVCSEL-3D SENSING/TOF检测解决方案:LIV光谱/功率积分测试、NF近场特性测试、FF远场特性测试、BRDF/BTDF光学材料AR/VR特性测试、VCSEL专用积分球,实现对VCSEL单体、模组、及晶圆芯片的能量分布和均匀性测量、光谱波长及功率测量、近场远场测量等各种定制化应用需求。  
       VCSEL-LIV-NF-FF自动化在线晶圆测量系统由莱森光学专门针对基于6寸 VCSEL晶圆得LIV光谱测试/NF近场测试/FF远场测试研发而成,特别适合晶圆线上自动化测量。

 

主要技术特点

满足ISO/IEC标准

● 晶圆最大支持6寸

● 支持脉冲和CW模式

 

 

 

 

                                                                                                                                                                 NF近场测试

主要技术指标

 

项目

 

规格

单位

晶圆参数

晶圆尺寸

6

inch

晶圆厚度

100~3,000

μm

晶圆曲度

10

mm

芯片尺寸

150~3,000

μm

衬底尺寸

50

μm

光功率

0.1~10,000

mW

波长

800~1,100

nm


 

LIV-NF-FF

LS-LIV-1000

LS-NF-2000

LS-FF-3000

测量能力

LIV和光谱功率测量

近场测试

远场测试

LIVLeakage current漏电流,Ith阈值电流,Kink,中心波长(λc),峰值波长(λp),FWHM半高宽

光斑大小、椭圆度、发散角、功率分布等

斑发散角、能量空间分布、光斑准直度、对称度(IEC60825-2

温控能力

5-85℃(标准),

电流源通道选择

取决于DUT结构,可由PXI基础配置

测量方法

双极,25W /通道,4线,CWQCW

电压范围

±100mV, ±300mV, ±600mV;±1V, ±3V, ±6V, ±10V, ±15V, ±30V,

电流范围

±3.5A(≦5V), ±2.5A(≦10V), ±1A, ±100mA, ±10mA, ±1mA, ±100uA, ±10uA, ±1uA

电流脉冲宽度

>100 μs

脉冲占空比

20

光学测试模块

带标定积分球和光谱仪

带自动对焦显微镜系统的CCD摄像头

高速CCD摄像头/标准板


 

 

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